光刻機用冷水機是工業冷水機的一種，而每一臺設備在出廠前都需要經過詳細的檢測過程。那么在出廠前需要調試哪些內容呢。

　　1、光刻機用冷水機的電流里調試

　　光刻機用冷水機在運行的時候可以檢測光刻機用冷水機循環泵中的電流里，廠家也可以由此判斷電流里的變化，是過大還是過小，方便觀察水系統的狀況。

　　2、靜水壓調試

　　光刻機用冷水機的出水里、進水管壓力值同樣是非常重要的，廠家和客戶可以通過出水里的多少來判斷光刻機用冷水機的運行是否正常，可以判斷出來是哪—段軟管壓力值稍大,方便修整；

　　3、銅管深吸氣溫度調試

　　運行光刻機用冷水機大概半個小時候，如果壓縮機的深吸氣溫度少于0度的時候，說明了換熱器中的出水里沒有達到固定值。容易造成揮發力下挫。

　　3、光刻機用冷水機冷量過小時，會使蒸發器供液不足，產生過大熱度，對系統性能會造成不利的影響。當光刻機用冷水機冷量過大時，會引起震蕩，間歇性的使蒸發器供液過量，導致壓縮機的吸氣壓力出現劇烈波動，甚至有液態制冷劑進入壓縮機，引起液擊(濕沖程)現象。

4、制冷系統的穩定性與蒸發器出口端制冷劑過熱度有關，因此及時準確的排除熱力膨脹閥的故障及正確的選擇與系統匹配的熱力膨脹閥是很重要。